Herausforderung

  • Die Kalibrierung optischer EUV-Komponenten durch eine EUV-Lichtquelle erfordert Vakuum
  • Die Kalibrierung durch Licht im sichtbaren Bereich kann bei Atmosphärendruck erfolgen
  • Aber: Sichtbares Licht zeigt aufgrund des verwendeten Gitters höhere Beugungsordnungen

Methodik

  • Nachweis, dass eine abstimmbare Lichtquelle im sichtbaren Bereich eine erhebliche Unterdrückung von Beugungseffekten ermöglicht
  • Anforderungen sammeln
  • Versuchsaufbau auf optischem Tisch
  • Ausführliche Charakterisierung und Dokumentation der Eigenschaften der Lichtquelle
  • Durchführung erweiterter optischer Simulationen zur Verifizierung

Ergebnis & Mehrwert

  • Zemax-Simulation zur Charakterisierung der Eigenschaften des optischen Designs
  • Nachweis und Durchführbarkeit von Konzepten und Simulationen
  • Nachweis einer erheblichen Unterdrückung höherer Beugungsordnungen
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