Reto
- La calibración de componentes ópticos EUV mediante una fuente de luz EUV requiere vacío
- El calibrado mediante luz en el régimen visible puede realizarse a presión atmosférica
- Pero: la luz visible mostrará órdenes de difracción más altos debido a la rejilla utilizada
Metodología
- Demostrar que una fuente de luz sintonizable en el régimen visible permite una supresión sustancial de los efectos de difracción.
- Recopilación de requisitos
- Montaje experimental en mesa óptica
- Amplia caracterización y documentación de las características de la fuente luminosa
- Realización de simulaciones ópticas ampliadas para la verificación
Resultado y valor añadido
- Simulación Zemax para caracterizar las propiedades del diseño óptico
- Prueba y viabilidad de conceptos y simulaciones
- Evidencia de una supresión sustancial del orden de difracción superior
Descubre más
Proyectos Relacionados
Consultoría tecnológica
Nuestras competencias
Con INVENSITY a su lado, tendrá acceso a nuestro amplio abanico de competencias, a nuestros profundos conocimientos y a nuestro equipo de consultores altamente cualificados y experimentados.
